| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20261117 |
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| | 壓力控制元件 | | |
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| | 規格/功能需求: 一、,,壓力控制元件需求說明如下: 1.,,元件需與微波電漿系統整合,並可由元件選擇常壓或是低壓模式 2.,,元件在常壓模式下,微波電漿系統的PID分析數值需大於2000ppm 3.,,元件在低壓模式下,微波電漿系統的PID分析數值需大於3000ppm 安裝/測試要求: 一、,,廠商需親自至沙崙場域現場確認壓力控制元件能與微波電漿系統整合 二、,,廠商需將此元件整合到微波電漿系統,組合及整合期間不得要求使用單位負 擔額外安裝費用及材料 三、,,廠商於組合及整合期間所需用到的相關工具皆由廠商準備,不得要求使用單 位提供。 檢測/驗收標準: 二、,,廠商需確認元件整合完成後微波電漿系統能正常完成待機狀態 三、,,廠商需確認元件整合於微波電漿系統後能達到上述規格/功能需求
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