| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20261130 |
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| | 氣體流量控制元件 | | |
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| | 一、,,規格/功能需求: 氣體流量控制元件需求說明如下: 1.,,元件需與微波電漿系統整合,並可由元件本身調整Ar流量,流量最大值為50L( slm) 2.,,元件在關閉進氣模式下,微波電漿系統的PID分析數值需大於50ppm 3.,,元件在開啟進氣模式下,微波電漿系統的PID分析數值需大於1000ppm 二、,,安裝/測試要求: 廠商需親自至沙崙場域現場確認氣體流量控制元件能與微波電漿系統整合 廠商需將此元件整合到微波電漿系統,組合及整合期間不得要求使用單位負擔額外 安裝費用及材料 廠商於組合及整合期間所需用到的相關工具皆由廠商準備,不得要求使用單位提供 。 三、,,檢測/驗收標準: 廠商需確認元件整合完成後微波電漿系統能正常完成待機狀態 廠商需確認元件整合於微波電漿系統後能達到上述規格/功能需求
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