| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20261130 |
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| | 委託製作表面粗度測定模組 | | |
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| | 測定範圍 X 軸: 200mm Z 軸: 800µm、80µm、8µm 真直度 (0.1+0.002L)µm X 軸: 0.05µm 解析度 0.01µm/800µm Z 軸: 0.001µm/80µm 0.0001µm/8µm 檢出器 檢出方式:差動 測定力:4mN 觸針(鑽石): 圓錐90∘先端曲率半徑5µm 外觀尺寸 測定本體部: 1169x482x1176mm 電 裝 部: 221x344x490mm 測定速度 測定速度: 0.02~2 mm/s 驅動速度:X軸0~80mm/s,Z2 軸0~30mm/s 手動 濾波種類 高斯濾波,2CRPC75,2CRPC50,2CR75,2CR50,雲線濾波 傾斜補正, R面補正,橢圓補正,拋物線補正,雙曲線補正,多項式補正, 多項自動式補正 標準配件 1.粗度標準片(JIS/ISO) 1 SET 2.標準檢出器 1 十字滑動平台 1 SET 雙向旋轉萬力台 1 SET
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