| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
ST |
20261225 |
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| | 氣體控制模組材料GM50A019202RBM020 | | |
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| | MKS MFC, CL2, 200 SCCM, 15 PIN ANAL , N.C.
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| 20 |
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1 |
ST |
20261225 |
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| | 氣體控制模組材料GM50A070502RBM020 | | |
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| | MKS MFC, BCL3, 500 SCCM, 15 PIN ANALOG, N.C.
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