採購資訊系統

itri-cel.gif 詢價單號：2001835697
列印日期：2026/10/08
彙總號碼：A532005779
詢/報價單
            本院擬購下列物品，請  貴公司於 2026  年 10 月 12  日前提供報價。

此致：上網公告專用

報價條件： □ 新台幣(含稅)   □ 新台幣(未稅)   □外幣：                

國貿條款：□FOB □FCA □DDU □DDP □其他                 

機場／港口：
項次料號數量單位需用日小計
 品名規格  單價 
規格
10 1 SET 20261023  
 真空製程壓力控制系統委託設計與整合製作一套  
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 真空製程壓力控制系統委託設計與整合製作一套(含：電控控制器、真空閥、晶片
載盤)
1.電控控制器1 組 Analog Output:
a.0-5 or 0-10 VDC for 0-100% valve position and 0-10 VDC for 0-100% F.S.
b.24 Volts AC/DC @ 1 Amp resistive,Model:253B-1-40-1
2. 閥253 Exhaust Throttle Valve 1組:
a.Closed Leakage:<10-7(Torr l/s);Cable,651Controller to 253 Valve,10 ft.
b.Valve:Throttle Valve,External Leak Rate:1x10-8 scc/sec He (shaft seal)
c.5-36V 2W,信號控制線
3.晶片載盤, 石墨塗層碳化矽, 100mm 口袋,深550um , 1 個
4.提供整合界面相關配合尺寸，且架構外型尺寸需與機械所討論確認後再整合製作
。
5. 將自行更換安裝測試，完成功能規格標準、可使用後，方能進行驗收。
﹡﹡﹡請廠商提供價格明細﹡﹡﹡
廠商簽章：


 總價合計：
聯絡人：                                                   電話：

詢價條款：

★統一編號: ★傳真‫ ‬:
★廠商聯絡人E-mail：
本案決標方式：
貴公司之報價，將作為比價之依據，請報最優惠價格。本院將逕與資格/規格合於
規定，且報價最低之廠商優先議價後，低於底價者決標。

1、預計交貨日期為 年 月 日前交貨/裝運，無法配合者請註明您的交期為
年 月　日。
2、延遲交貨/裝運罰則：每逾一日罰成交總額之千分之一。罰款上限為成交總額百
分之二十(罰款未達100元者，以100元計罰)。
3、付款方式：驗收合格後，依本院一般付款方式支付貨款(每月20日前報銷，於次
月20日以電匯或即期支票方式支付貨款)。
4、交貨地點：工研院■中興院區：新竹縣竹東鎮中興路四段195號。
5、保固期：驗收合格後_6_個月。
6、若無法提供報價，請於本單上述明理由及簽章後，擲回承辦人。謝謝！
7、廠商之負責人、董事、獨立董事、監察人、經理人或相類似職務者，若為工研
院受規範之公職人員（包含工研院全體董事、監事、院長）或其關係人，依「公職
人員利益衝突迴避法 」規定，除有第14條第1項但書情形者外，不得參包廠商。
8、本案不允許大陸地區廠商或其產品或勞務參與。
採購李美郁E-mail：lme@itri.org.tw。
承辦人：李美郁 聯絡電話：03-5916511
地址： 傳真：03-5162890
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