| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20261215 |
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| | 高效率SiN光柵耦合器設計與製程驗證 | | |
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| | 高效率SiN光柵耦合器設計與製程驗證_採購規範書
一、用途說明：
-,,智慧眼鏡與擴增實境近眼顯示系統需將微型顯示器或光源產生的影像光有效導
入平面光波導，再透過出光耦合結構將影像傳送至使用者眼睛。光柵耦合器的耦光
效率、出射角度、操作頻寬、偏振特性、遠場光束分布及製程容忍度，均會直接影
響近眼顯示系統的亮度、視場角、眼盒範圍與影像均勻性
-,,氮化矽 (SiN) 具有低傳輸損耗、寬透明波段、良好熱穩定性及半導體製程相容
性，適合應用於平面光波導與自由空間耦光元件
-,,擬利用 Cornerstone SiN 所提供之200 nm厚SiN波導，設計適用於智慧眼鏡近
眼顯示之高效率SiN光柵耦合器。研究將比較基準均勻式光柵及漸變式光柵，建立
從電磁模擬、GDS版圖、晶片製作至實際量測之完整製程驗證流程
二、,,功能規格項目：
為驗證Cornerstone SiN平台在近眼顯示入光、出光及自由空間光束整形元件
上的製程可行性，需求規格如下：
-,,建立200 nm SiN波導與局部蝕刻光柵之模態及全波模擬模型
-,,設計智慧眼鏡近眼顯示用SiN入光與出光光柵耦合器
-,,比較均勻式及漸變式之耦光性能
-,,評估光柵週期、填充比例、蝕刻深度、齒數及漸變方式對耦合光效率與遠場分
布之影響
-,,分析SiN膜厚及線寬偏差所造成的中心波長與效率變化
-,,完成晶片量測，並比較模擬與實際結果，以驗證PDK模型及製程平台之適用性
-,,軟性材質的評估及後續打樣討論
三、產品交付及確認
-,,廠商需於民國115年12月15日前交付結案報告書乙份，成果報告書內容需至少包
含但不限於實驗數據與分析結果。
四、交貨期限
-,,交付期限為民國115年12月15日。
五、涉及智慧財產權歸屬要求
本院取得全部權利。工研院擁有所有資料或文件之智財權。
,, (一)因本專案產生之執行結果任何資料或文件報告，其智慧財產權屬工業技術
研究院所有，除經工研院同意授權，不得任意洩漏相關設計資訊，或沿用關鍵技術
之相關資料、演算程序及原始碼及做其它用途，否則願負所有法律責任。
,, (二)如本院因使用所提供之任何資料或文件而致侵害第三人之智慧財產權者，
廠商應負責解決之，本院如遭受損害，得標廠商應賠償之。
六、驗收與付款
-,,第一期款50%於交付驗證計畫書並驗收合格，及收到收據後十個工作日內付款。
-,,第二期款50%於交付結案報告書並驗收合格，及收到收據後十個工作日內付款。
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