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詢價單號：2001796393
列印日期：2026/04/01
彙總號碼：A692000259
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| 詢/報價單
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本院擬購下列物品，請 貴公司於 2026
年 04
月 08
日前提供報價。
此致：上網公告專用
報價條件： □ 新台幣(含稅) □ 新台幣(未稅) □外幣：
國貿條款：□FOB □FCA □DDU □DDP □其他
機場／港口：
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| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20260415 |
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| | 光學測試標準件加工製作 | | |
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| | 1.)需提供白光干涉量測系統校正用薄膜階高測試標準件共兩片，基板採用6吋矽晶圓，品質需適用於奈米級白光干涉量測，並確保表面完整無破損
2.)測試件規格如下：第1片於矽基板上鍍製SiO₂薄膜，膜厚170nm，誤差2%內；第二片於矽基板上鍍SiO₂薄膜，膜厚220nm，誤差2%內
3.)每片晶圓上皆需製作4500nm階高測試標準件，並需具明確邊界、穩定量測區域及足供白光干涉系統進行高度校正與重複性驗證之結構設計
4.)測試件需多量測區域設計，可供多通道白光干涉量測系統進行通道間校正、比對及重複量測驗證；量測區域應可清楚辨識，須能於同一片晶圓上進行量測
5.)需提供Nanospec薄膜厚度量測報告，分別確認膜厚SiO₂ 170nm與220nm之製作結果
6.)需提供階高測試標準件檢測報告，確認各晶圓上階高結構之實測值
7.)提供商品運送服務，完成2片薄膜階高測試晶圓製作並交付，包裝須符合精密光學/半導體樣品運送要求，避免於運送過程中產生損傷
8.)一年非人為損壞保固，本案交付之標準件，廠商須配合本計畫應用需求進行驗證與調整
9.) 於驗收完成後6個月內，如經確認為製作品質或製程相關因素導致量測結果不符合原規格要求，廠商應提供必要之修正或重製服務
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廠商簽章：
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總價合計：
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| 聯絡人： |
電話： |
詢價條款：
決標方式：貴公司之報價，將作為比價之依據，請報最優惠價格。本院將逕與資格
/規格(產品規格及交期等)合於規定，且報價最低之廠商優先議價後，低於底價者
決標。
★請填寫廠商統一編號：_______________傳真號碼：_______________
1.本購案上述交貨日期前交貨送達至本院，無法配合者請註明您的交期____年____
月____日。
2.罰則：逾期交貨每日罰成交總額仟分之一，罰款上限為成交總額佰分之二十。
★廠商之負責人、董事、獨立董事、監察人、經理人或相類似職務者，若為工研院
受規範之公職人員（包含工研院全體董事、監事、院長）或其關係人，依「公職人
員利益衝突迴避法」規定，除有第14條第1項但書情形者外，不得參投標、作為決
標對象或分包廠商。★廠商之負責人、董事、獨立董事、監察人、經理人或相類似
職務者，若涉及本案採購承辦人或其關係人，請於投標前通知採購承辦人，依本院
利益衝突迴避管理辦法辦理。★不允許供應大陸牌產品及勞務★
3.交貨地點：(70955)台南市安南區工業二路31號，創新園區 收貨管制點
4.保固期：驗收合格後___個月。★採購承辦人：胡峻華( Email：ScottHU@itri.o
rg.tw )★
5.付款條件：驗收合格後，依本院一般付款方式支付貨款。(每月 20日前報銷，於
次月20 日以電匯或即期支票方式支付貨款)
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| 承辦人：胡峻華
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聯絡電話：03-5912207
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| 地址：
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傳真：03-5162884
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