| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
SET |
20261002 |
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| | 氣體不純物分析系統 | | |
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| | 1.質譜儀模組(詳細規格參考採購規範書)
含EI-MS與IMR-MS質譜；質譜偵測原理:四極柱式；質譜範圍IMR-MS:10至400 amu，EI-MS:1至100 amu；
解析度≤ 1 amu；真空度≤10-5 torr；電源AC 110V，≤ 20 A；重量≤ 300 kg，具可移動性；具樣品選擇進樣系統
偵測極限:CO(≤0.3 ppm), CO2(≤0.6 ppm), NH3(≤0.009 ppm), 甲醛(≤0.03 ppm),
甲酸(≤0.06 ppm), 鹵素化合物(≤0.045 ppm), 含硫化物(≤0.002 ppm), H2O(≤0.3 ppm),
He(≤15 ppm), N2(≤15 ppm), Ar(≤ 6 ppm), O2(≤ 1.5 ppm), CH4(≤ 3 ppm)。
2.氣相層析儀模組(詳細規格參考採購規範書)
具FID與PDHID；烘箱溫控涵蓋30至450℃；烘箱升溫速率≥ 100℃/分鐘；具觸控功能控制面板；
無須樣品前濃縮可達偵測極限:CH4(≤0.05 ppm),THC(≤0.1 ppm),CO(≤0.05 ppm).CO2(≤0.05 ppm)
O2(≤0.1 ppm),N2(≤0.1 ppm),Ar(≤0.1 ppm)。
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