| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
SET |
20251222 |
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| | 高效臭氧產生機組 | | |
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| | 1. 需符合semi S2認證規範 2. 需符合半導體台積電規範 3. 可安裝ITRI自製臭氧產生反應器 4.O3外洩偵測 5.需包含PLC邏輯程式撰寫、協助機組測試
一. 臭氧設備 & 臭氧設備電箱,,
1.臭氧設備,, 外觀尺寸 : 763.6 x 650 x 373.4 mm (700 x 650 x 306.7 mm)(整體烤漆,包含 骨架)骨架尺寸 : 696.8 x 647 x 260 mm,, 吊掛規格 : 吊掛式 (M8 x 8~10PCS),, 水: 1進1出 (3/8”),, 氣:1進4出 (1/4”進_O2,3/8”出_O3),, 電:8進 (2KV) 水氣電規劃 : 氣體_設備右側,水_設備左側,電_設備正面 安全設定 : 門鎖&<)>開門斷電
2.臭氧設備電箱,, 外觀尺寸 : 900*700*325mm,, 電磁閥VT-307 DC24V 接地銅排PE-13P 流量計0~20L 漏液檢測帶F03-16PE 1M 壓差表DPM-1KP-M12-PG4C DC24V 氣體數位流量計ATF-2T-050 DC24V 鐵弗龍氣管TL0806-20 8mm 20m/R 鐵弗龍氣管TL0604-20 6mm 20m/R 鐵弗龍氣管TL0806-20 8mm 20m/R 鐵弗龍氣管TL0604-20 6mm 20m/R 百葉式過濾網(白)掀扣式 人機8.4吋 全彩16.7M 集合式電錶DMG700,, 緊急壓扣按鈕,, 緊急開關保護線圈,, 三色蜂鳴器警示燈LED DC24V,,
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