| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20251205 |
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| | 真空壓力感測元件 | | |
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| | 規格 THYRACONT Vacuum Transducer,, VSC43MV, Ceramic, 1400-1 mbar, 0-10 V, linear,,, DN16KF,,, 1. 廠商需親自現場至沙崙場域確認真空壓力感測元件能與高品質氮氧化物成膜暨 摻雜系統整合; 2. 廠商須確認元件整合之後機台壓力讀值可顯示100~1000mbar範圍
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