| 項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| | 品名規格 | | | 單價 | |
| 規格 | |
| 10 |
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1 |
CS |
20251128 |
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| | ALD製程溫控及真空模組製作 | | |
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| | 1. 4吋 一體成形溫控模組*1
電壓 220V, 最高溫400度, 反覆升降溫不能翹曲變形, 可替換K-TYPE 感溫線*2
ALL 表面需光滑平面.不可粗糙, 感溫線及電極出線均為1M......
2. CF 160 3-P GATE VALVE*2,Stainless Steel,He leak rate<1*10-9 mbar l/s
max. 150度C, Pressure <30 mbar ..........
3. 0.1Torr Baratron gauge*3, Measure range 0~+10 V, V-P：linear .......
4. 1/4" GAS VALVE 氣動閥*10, SUS 316L，NiCo alloy, PCTFE，Al alloy
Temp.：-10~80 °C, Working P.：0.4~0.6 MPa，Max.：1 MPa
UJR，UPG，F900自動熔接接頭.........
5. 含組裝測試驗證，由itri確認參數及結果
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