項次 | 料號 | 數量 | 單位 | 需用日 | 小計 |
| 品名規格 | | | 單價 | |
規格 | |
10 |
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1 |
CS |
20250428 |
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| 平台振動分析 | | |
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| 安裝位置:1點/吸盤位置 量測向量:X/Y/Z三方向G力 量測項目 1.Servo OFF 時現場自然頻率(Stage在中間) 2.Servo ON / Stage不動, 現場頻率特性(Stage在中間) 3.Y軸 +到- 量測 (250mm/s, 行程300mm) 4.Y軸 -到+ 量測 (250mm/s, 行程300mm) 5.Y軸 +到- 量測 (10mm/s, 行程300mm) 6.Y軸 -到+ 量測 (10mm/s, 行程300mm) 7.X軸 +到- 量測 (250mm/s, 行程300mm) 8.X軸 -到+ 量測 (250mm/s, 行程300mm) 以上提供Raw Data及震動分析
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